中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-2345 #9064559 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-2345は、半導体ウェハーの大量生産用に設計された最先端のウェハハンドラです。BROOKS ATM-2345は、1つの統合ユニットで中央の材料処理と自動化された操作を提供します。PRI AUTOMATION ATM-2345は、最大200mmウェーハを処理し、メインプロセスステーションへの搬送用にコンベアベルトにアンロードできる大型ウェーハローダーを備えています。プロセスステーションには、ウェーハ操作とさまざまな加工ツールへの自動配置を可能にするロボットアームの高度な機器が含まれています。ATM-2345には、リモート診断、生産監視システム、完全なPCベースの制御など、さまざまな機能が搭載されています。さらに、BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-2345には、低粒子エミッションエンクロージャと集塵ユニットが装備されています。BROOKS ATM-2345は、優れた性能と信頼性を提供しながら、汚染のリスクを低減する堅牢な設計を提供する、高品質のステンレス鋼から構築されています。また、内蔵のエアフィルトレーションマシン、低ノイズファンコントロール、および他のプロセス機器と容易に統合されたモジュラーコンポーネントを備えた密閉エンクロージャを使用しています。PRI AUTOMATION ATM-2345は柔軟なオペレータインターフェイスで設計されており、広範なデータロギングおよび分析機能に加えて、すべての機械機能に簡単にアクセスできます。ATM-2345は、生産または研究開発環境において非常に効率的なウェハハンドラです。1時間あたり最大500個のウェーハ速度を実現できるため、大量生産に最適です。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-2345も高度に設定可能で、異なるプロセスに合わせてカスタマイズできます。コンベアベルトへの自動アンロードや、ウェットエッチングやスパッタリングなどの様々な処理方法があります。さらに、BROOKS ATM-2345は、現場でのEストップや蓋の開いたインターロックなど、数多くの安全機能も備えています。PRI AUTOMATION ATM-2345は、テクノロジー業界で利用可能な最も先進的で信頼性の高いウェーハハンドラの1つです。単一の統合ユニットで高品質のウェーハのローディングと処理を提供し、さまざまなアプリケーションのニーズに対応する高度な構成が可能です。ATM-2345は、オペレータと人員を安全に保つためのさまざまな安全機能を備えており、高いウェーハスループットを実現することができ、大量生産環境に最適です。
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