中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107B-2-S-CE #9209886 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107B-2-S-CEウェハハンドラは、最大12インチのウェハーを安全かつ効率的に取り扱うために設計されたロボット機器です。ワークステーションを一体化し、工業的に堅牢化されたアーキテクチャを備えたサーボベースのロボットで、信頼性の高い性能と再現性を実現しています。基本的なシステムには、視覚および運動フィードバック用の顕微鏡、センサアライメントおよびアライメントチェック用の統合ビジョンユニット、ウェハを操作するためのエンドオブアームツール、簡単な操作のためのシンプルなユーザーインターフェイス、および外部システムとの接続のための多数のI/O接続が含まれています。ウエハハンドラは幅広い動作パラメータが可能で、エンドエフェクター、カメラ、コントロールの配列でカスタマイズできます。機械の柔軟なアーキテクチャにより、さまざまなウエハサイズと厚さで使用できます。このツールは、シリコン、ヒ素ガリウム、石英などの幅広い基板に対応できます。サーボモータを使用して、X軸とY軸の両方でウェーハハンドリングロボットを動かし、正確な位置決めを行います。プログラマブルモーションコントローラは、モーションを制御して、全範囲のモーションに対して正確で反復可能なモーションを保証します。ウェーハハンドリングロボットは、回転、加速/減速、ジャーク制御、バックラッシュ補償などの複雑な動きにプログラムすることができます。この資産には、ベッド上のウェーハを正確に識別して特定するためのさまざまなセンサーとビジョンシステムが装備されています。さまざまな種類のウェーハ材料や形状を検出するために、さまざまな発光器を使用できます。統合ビジョンモデルを使用して、ウェーハをアームツールの端に配置します。また、小さな表面の欠陥を検出するだけでなく、チップやエッジの損傷をチェックするために装置を設定することができます。BROOKS ATM-107B-2-S-CEウェーハハンドラは、高精度と信頼性のため、半導体、自動車、医療技術産業での使用に適しています。このシステムは、ウェーハのサイズ、材料、厚さの広い範囲を再現可能な結果で処理することができます。その柔軟性、直感的なユーザーインターフェイス、さまざまなI/O接続により、幅広いアプリケーションへの統合に適しています。さらに、このユニットの耐久性のある構造と堅牢な構造により、過酷な環境での使用に適しています。その結果、このマシンは信頼性の高い正確なウェハハンドラを探している組織に最適です。