中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107 #132338 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107は、精密操作用に設計された高度なウェーハ処理装置です。最先端のウェハマガジン、高性能ロボット、光学ベースの精密アライメントシステムを備えています。BROOKS ATM-107は、高度な技術と直感的なコントロールにより、さまざまなサイズと密度のウェーハを正確に正確に転送および整列させることができます。PRI AUTOMATION ATM 107を搭載したウェハマガジンは、1つのカセットで最大100個のウェハーを保持し、保護するように設計されています。大容量オートローダーと、適切なウェーハを正確に識別して選択するための機械的、光学的、または容量性検出システムの選択が装備されています。雑誌の先進的なデザインにより、雑誌全体が均等に加熱され、熱衝撃を最小限に抑え、一貫性のある温度を維持します。ATM 107はまた、高速40ワット、ブラシレスDCサーボモータを備えた高度な5軸連結ロボットを備えています。このロボットは、高い精度と信頼性でウェーハの正確な位置決めと配向が可能です。このロボットには、レーザー三角測量と追跡アルゴリズムを使用してウェーハを正確に位置に合わせる高度なビジョンユニットも装備されています。最後に、PRI AUTOMATION ATM-107には、イメージベースのパターンマッチングとフィデューシャリーマークを組み合わせて正しいアライメントポイントを正確に識別する光学ベースの精密アライメントマシンが装備されています。この高度なツールは、ウェーハを正確な位置と向きに素早く正確に合わせるように設計されており、ウェーハ転送を均一かつ信頼性の高いものにします。全体として、BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 107は、信頼性と高精度のウェハハンドリング体験をユーザーに提供するために設計された高度なウェハハンドリング資産です。高度なウェハマガジン、高性能ロボット、光学ベースの精密アライメントモデルにより、ATM-107はあらゆる産業用途において精度、再現性、コスト効率を確保できます。