中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107-1 #9256423 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107-1 Wafer Handlerは、精密ウェハハンドリングプロセス向けに特別に設計された多目的産業用オートメーションツールです。モジュラー設計により、特定のタスクとアプリケーションのニーズに基づいて幅広いカスタマイズと構成が可能です。BROOKS ATM-107-1の基本パッケージは次のとおりです。人間工学に基づいたPCベースのオペレーターコンソール。マシンのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）ベースの制御を提供します。また、自動ビジョンプライアライメントシステム、自動テーピング、高速アライメントセラミックカセット、アレイ転送サポート、ウェーハの安全な制御のための高度な製品追跡など、幅広いオプションが用意されています。自動化されたウェーハトランスポートツールとセグメンテーションツールには、手動で介入することなく、ウェーハの操作、搬送、向きを管理するスピナー、プッシャー、および分離されたコンベアベルトが含まれています。Micron MultiAx絶縁アセットは、各ウェーハがプロセスモジュールに到達する前に正確に登録され、正確に指向されていることを保証し、潜在的なミスアライメントエラーの数を最小限に抑えます。PRI AUTOMATION ATM-107-1では、ウェーハスプリットをオプションとしたウェーハツーウェーハハンドリングなどの機能も強化されており、個々のウェーハスライスをそれぞれのカセットに分離して移動させることができます。さらに、ATM-107-1のターゲティングモデルは、特に大きなツールを扱う場合に、各ウェーハの宛先が正確に配置されていることを確認します。さらに、BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107-1には、カスタムのロボット位置決めなどの高度な追跡および制御モジュールが付属しています。 プロセス監視、可視化、検証機能だけでなく、ウェーハの輸送と処理の進捗状況を包括的に監視することができます。 そしてユーザーがリアルタイムアラームを構成することを可能にし、高レベルの生産性を維持し、すべてのプロセスが計画に従って動くことを保障するのを助ける。全体として、BROOKS ATM-107-1 Wafer Handlerは高度で信頼性の高いオートメーションツールであり、効率を大幅に向上させ、幅広いウエハハンドリングプロセスに必要な時間を短縮します。直感的なGUI、高度なプロセス制御機能、強力な製品追跡機能を備えたモジュール式でカスタマイズ可能な設計により、あらゆる産業用ウェハハンドリング機器に最適です。