中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #99632 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105は、CMP、 CVD、 Etchなどのミッドレンジウェハ製造アプリケーション向けに設計されたウェハハンドラです。BROOKS ATM-105は、幅広い基板やプロセスに対応するために柔軟性のために設計されたモジュラー機器です。ウェーハキャリアモーションの正確な制御、位置と速度の正確な測定、安定した信頼性、一定の再現性の高い精度を提供する高速フラットプレーン「インライン」輸送システムを備えています。PRI AUTOMATION ATM 105は、標準LNC-1000と通信パッケージを備えたトータル機器制御も提供します。このパッケージには、あらゆる工程ステップを素早く設定するために使用できる機器パラメータと処理レシピを定義する機能が含まれています。BROOKS ATM 105は、ウェーハダイシングを最小限に抑える改良されたウェーハハンドリングメカニズムを搭載しています。ATM 105は空気圧学、電気および機械部品を整備し易いです、容易な維持を可能にする、速い応答を可能にし、ダウンタイムを減らしました。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105は、ユニットにインストールされている各カセットを自動的に校正し、異なるカセットがインストールされたときにすばやく認識し、正確で繰り返し可能なウエハトラッキングと転送を保証します。ウェハの向きに合わせて高精度な検査カメラを接続することで、より精度の高い検査が可能です。PRI AUTOMATION ATM-105は、自動機能識別が可能であり、ウェーハ表面ごとにルートを決定する高度な決定を行うことができます。このマシンは、ウェーハ機能のリアルタイムアライメントと検査を実行することにより、スループットを向上させ、付加価値のない操作を削減します。パーソナルコンピュータATM-105制御されたインターフェースで直径8インチまでのウェーハを処理でき、ユーザーフレンドリーな操作を提供します。このツールは、機器、オペレータ、およびプロセス管理システムへのリモートアクセス用のイーサネットインターフェイスも提供します。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105は、信頼性が高く、効率的で安全な資産であり、あらゆるプロセスおよび生産環境で使用できます。高レベルの制御と精度により、ミッドレンジのウェーハ製造プロセスに最適なソリューションです。