中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #9256426 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105 Wafer Handlerは、半導体ウェーハを扱うために特別に設計された洗練されたラボオートメーション機器です。完全に自動化されたコンピューター制御装置であり、ウェーハを正確かつ信頼性の高い方法でロード、アンロード、アライメント、オリエンテーション、および配信することができます。このハンドラは、迅速かつ再現性のあるプロセスを作成し、手動での処理を不要にすることで、ラボの効率を向上させるように設計されています。BROOKS ATM-105は広々としたキャビネットを備えており、直径8インチまでのウェーハに対応できます。カセットの積み下ろし、ステージングされたウェーハハンドリング、オートトレイのアライメント、最大4つのウェーハの向きなど、さまざまな自動化タスクを一度に実行できるように設計されています。これによりPRI AUTOMATION ATM 105は、迅速かつ厳格なウェーハ処理を必要とする複雑なタスクに最適です。ATM 105はさらに、高感度のモータ制御とモーションセンシングシステムを備えているため、ウェーハ表面のバリエーションに関係なく、ウェーハを正確に配置して整列させることができます。これにより、ウェーハ上の専用のピックアップポイントを迅速かつ正確に特定して特定することが可能になり、信頼性が向上し、プロセス速度が高速化されます。PRI AUTOMATION ATM-105には、プロセスが安全に実行されるように設計された包括的な安全監視システムも含まれています。これらには、過熱保護、強制連結、およびさまざまな障害監視機能が含まれます。堅牢なオートメーション機能に加えて、ATM-105は簡単なメンテナンスとトラブルシューティングのために設計されています。このシステムは複数の診断ツールとセルフテスト手順を備えており、緊急時には電子機器を簡単に取り外して現場での迅速なサービスを行うことができます。全体として、BROOKS ATM 105ウェーハハンドラーは、自動ウェーハハンドリングのための効率的で信頼性の高いシステムです。精密なモーター制御、モーションセンシング、安全監視を組み合わせることで、迅速で信頼性の高いウェーハハンドリングを必要とするラボにとって、強力で信頼性の高いツールとなります。