中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #9064558 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105は、半導体製造の高度なオートメーションソリューション向けに設計された高性能ウエハハンドラです。このツールは、正確な精度と制御でプロセスツールとトレイ間でウェーハを転送するための完全に統合されたプラットフォームを提供します。このツールは、コンパクトでモジュラー設計に基づいており、簡単なインストールとメンテナンスを可能にします。BROOKS ATM-105のメインフレームは、硬質アルミニウム板金フレームワークから構築され、さらに高いスループット要件のための非常に丈夫な構造を提供します。高精度の真空ベースのウェハハンドリング装置には、信頼性の高いグリッパー操作のためのデュアルレール真空ベースのシャトルとウェハチャックが含まれています。高度なオートレベリング機能は、真空ベースのトランスファーレールシステムのすべての偏差を補正し、手動で調整する必要のない正確なウェーハ処理を保証します。高速モータ駆動のロータリーアクチュエータは、滑らかで正確な回転を保証し、精密なリニアアクチュエータは、ウエハの超高速で滑らかなインデックス作成を可能にします。PRI AUTOMATION ATM 105は、プロセスツールとトレイキャリア間のウェーハの迅速かつシームレスな転送を可能にする高度なシングルハンドロボットアームを備えています。このロボットアームと真空ベースのウェーハハンドリングユニットを組み合わせることで、トレイへのウェーハの高速で一貫したロードとアンロードが可能になります。さらに、高度なビジョンガイダンスマシンにより、PRI AUTOMATION ATM-105はウェーハとトレイを正確に整列させ、精度と再現性を確保します。ATM 105はまた、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を含む強力な制御ツールを備えています。この制御資産は、すべての機能をリモートで直接制御し、正確な制御と詳細なプロセス監視を提供します。また、GUIはユーザーにウェーハハンドラ環境のリアルタイム可視化を提供し、オペレータは現在のデータとプロセス情報を簡単に表示することができます。要するに、BROOKS ATM 105ウェハンドラは、半導体生産における高度な自動化のための高性能ウェハハンドリングソリューションを提供する強力で正確なツールです。高精度、高精度、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えたATM-105は、今日の半導体製造におけるオートメーションソリューションに最適です。