中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S #293647986 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-Sは、半導体の自動クリーンルーム製造に使用される最先端のウェハハンドラです。BROOKS ATM 105-1-Sは、複数のコンポーネントから構成され、精度と再現性を備えたウェーハの選別、転送、取り扱いが可能です。PRI AUTOMATION ATM 105-1-Sの主な構成要素は、振動フィーダとリニアピック/プレース機構で構成されるウェハハンドラそのものです。振動フィーダは、ウェーハの小さな複数のパッケージアセンブリをトラックに送り出します。ピックとプレイスのメカニズムは、これらのパッケージのそれぞれを識別し、それらを転送のための適切な位置に運びます。このハンドラは、さまざまなサイズのウェーハに合わせて調整することができ、荷重軸受容量はパッケージあたり最大200個です。ATM 105-1-Sには、ウェーハ検査のソート、スタッキング、監視のためのビジョンツールもあります。ビジョンツールはまた、すべてのウェーハがクリーンルーム環境の正しい方向に配置されることを保証します。高精度なイメージングシステムにより、ウェハサイズ、厚さ、曲率のバリエーションも可能です。このウェーハハンドラは、ATEXおよびSEMIの安全規格に完全に準拠しており、ウェーハの汚染や損傷のリスクを低減します。さらに、BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-Sは、ESD安全規格に準拠しており、クリーンルーム内の機密デバイスを保護します。BROOKS ATM 105-1-Sは、接続性とネットワークを内蔵しており、より大きな自動製造プロセスに統合することができます。システムもモジュール式で拡張性があり、必要に応じて簡単に導入およびアップグレードできます。さらに、それはレガシーデバイスとより近代的なモデルの両方と通信することができますオープンアーキテクチャで構築されています。全体として、PRI AUTOMATION ATM 105-1-Sは、クリーンルームの生産環境におけるデリケートなウェーハのソート、転送、検査、およびオリエンテーションを可能にする信頼性の高いウェーハハンドラです。高度で効率的なメカニズムを使用して製造コストを削減し、安全性を損なうことなく精度を向上させます。さらに、モジュール性により、より大きな自動化された生産プロセスに容易に統合できます。
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