中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9197649 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CEウェハハンドラは、最先端の超高速動作機能により、優れた歩留まりと信頼性を提供するように設計された高性能ウェハハンドリング装置です。このマシンは、精密かつ再現性のあるウェーハ位置決めのために設計されており、半導体およびウェーハレベルの集積回路生産に最適なプロセス安定性と歩留まりを提供します。BROOKS ATM-105-1-S-CEは、最大12インチ（300mm）のウェーハに対応できるため、大量生産に適しています。高速、高精度のリニアモータ、コンパクトな二軸サーボモータ、独自の超高速ステッピングモータを搭載し、高速、再現性、信頼性の高いナノメートルレベルの位置決めと再現性を提供します。また、高剛性で大型のガントリーデザインを採用し、高精度なナノ加工に適しています。PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CEは、サイクルタイムを短縮し、スループットを向上させるための高度な機能も多数搭載しています。例えば、Adaptive Recipe Learning （ARL；アダプティブ・レシピ・ラーニング）テクノロジーを使用して、各ウェーハに最適な処理条件を自動的に学習し、マシンのリアルタイム測定に基づいて最も効率的なレシピを生成します。さらに、工具中心の監視ユニットであるリアルタイムツールアクションモニタリング（RTM）を搭載しており、チャンバとそのコンポーネントのイベントごとに動作を測定、記録、報告します。これにより、最適な運用が保証され、さらなる分析とさらなるプロセス最適化のためのデータが提供されます。ATM-105-1-S-CEにはMCLU （Multiple Chamber Loading/Unloading）も組み込まれており、異なるプロセスレシピを持つウェハの連続生産が可能です。さらに、プログラム可能なアラーム、自己診断、警告機を提供する高度なユーザーインターフェイスを備えています。また、安全ゾーン、レーザーセンサー、オートアボートサイクルなど、安全な生産環境を維持するためのさまざまな安全機能も備えています。全体として、BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CEウェーハハンドラは、究極のプロセス歩留まりを提供する信頼性が高く、効率的で正確なウェーハハンドリングマシンです。大容量ウェハレベルの集積回路や半導体製造に最適で、高度なマイクロ位置決め技術によりナノ加工に適しています。その豊富な機能と機能により、魅力的で費用対効果の高い資産となります。