中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9194553 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CEは、ウェーハ加工装置の効率を最大限に高めるために設計された多軸ウェーハハンドラです。BROOKS ATM-105-1-S-CEは、精度と精度をピンポイントでスキャン、スライス、ローディング/アンロードが可能な高性能ウエハハンドラです。このウエハハンドラは、小さな洗練されたウエハでも繰り返し可能なステップアンドリピート動作と最高のスループットを提供します。PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CEは、コントロールボード、I/Oボード、エンコーダボードの4つのボードで構成されています。コントロールボードには、付属ソフトウェアがインストールされたStepper Motor Controller Cardを備えたMicrosoft Windows 95/98/00/NTオペレーティングシステムを備えたIBM PCベースのシステムが含まれています。ステッピングモータを駆動するI/Oボードは、エレクトロニクスアセンブリの端にあります。エンコーダボードはステッピングモータからパルスを受け取り、電子部品はシステム温度を監視する役割を果たします。ステッピングモーターとエンコーダボードは、中央プロセッサ（CPU）とメモリに直接接続されています。ATM-105-1-S-CEには複数のスキャンおよびスライス機能があり、最適化されたOEMウェーハハンドリングソフトウェアパッケージがあります。ウェハハンドラは、繰り返し可能で非常に正確なウェハスライシング性能を提供する特許取得済みの「スムーズ」スキャンモードを備えています。また、複数のウェハサイズの取り扱いやスライス操作にも対応しているため、さまざまなウェハベースのアプリケーションに最適です。最大操作可能なウエハサイズは直径8インチですが、適切なアダプターを装着してより大きなウエハーにも対応できます。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CEには、電子速度などの標準的な機能が含まれており、プロセスの高速化によりスループットが向上します。その便利なスライドプレートは、真空吸引カップと低力グリッパーとともに、ウェーハのアクティブな表面に接触することなく、ウェーハのローディングとアンロードを可能にします。さらに、再循環ボールねじは、洗浄目的のために重要である滑らかで穏やかなウェーハの動きを可能にします。最後に、ウェハハンドラはライブグラフィックスディスプレイを備えた直感的なユーザーインターフェイスを備えています。このユーザーインターフェイスには、プラントフロア操作を可能にするプログラマブルロジックコントローラ（PLC）が含まれており、外部デバイスを取り付けるため、またはUPWプラント全体監視システムなどのシステムにリンクするための通信ポートが多数用意されています。BROOKS ATM-105-1-S-CEは、最先端のモーターコントローラ設計により、難易度の高いウェーハ処理スループットと精度を提供します。