中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #9116241 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-2-S-RHSは、生産性を向上させ、ウェーハスループットを向上させるために設計された最先端のウェーハハンドラです。ハイエンドのスループットと精度を提供する2段ハンドラユニットであり、200mmの広範囲の半導体ウェーハをプロセス間で転送することができます。洗練された機能と高いレベルのオペレータ制御を備えたBROOKS ATM-105-1-2-S-RHSは、あらゆる半導体製造設備に最適です。ハンドラユニットの最初のステージはウェーハ入力カセットローダーで、8インチウェーハカセットから最大2つのウェーハを素早く正確にロードできます。ローディングとアンロード時にウェーハをしっかりと固定し、最高のスループットと精度を確保します。その後、ハンドラーの二軸ロボットアームによってウェーハを転送し、ウェーハを精度よく動かすように設計されています。ロボットの動作範囲が広いため、さまざまなウエハサイズに対応できるように調整できます。ハンドラーの第2段階は、一連の化学的および物理的な処理モジュールを含む処理領域です。プロセッサモジュールは、歩留まりと生産性を最大化するために、幅広い化学、電気、機械のプロセスパラメータを維持するように設計されています。モジュールは特定の顧客の要求を満たすために一致させることができ、また新しい技術を収容するために変更することができます。PRI AUTOMATION ATM-105-1-2-S-RHSは非常に信頼性の高いユニットで、堅牢な設計で構築されています。部品は容易な維持および監視のために設計されています、操作の長い生命を保障します。ハンドラーによって提供される広い特徴の1つは自動化されたウェーハ処理のために利用できる最も信頼でき、有効な解決を作ります。全体として、ATM-105-1-2-S-RHSは優れた性能と信頼性を提供する高度なウエハハンドラです。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-2-S-RHSは、幅広いウエハサイズに対応できるため、生産効率と信頼性の向上を目指すあらゆる半導体メーカーにとって理想的なソリューションです。