中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #9116101 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHSは、単一のウエハ基板の処理用に設計された高度なウエハハンドラです。1時間あたり最大1,200個のウェーハを実行でき、6〜8インチのウェーハに対応できます。このウェハハンドラは、ATM 210-600-100-SなどのBROOKS ATMウェハインスペクションおよび計測機器と直接統合されるように構成されています。また、ZEDオートメーションロボットアームに接続してウェーハハンドラと計測システムトラック間でウェーハを転送することも可能です。BROOKS ATM 105-1-2-S-RHSは、ステンレススチールフレームに内包され、UL定格であり、JEDECクリーンルーム基準を満たす衛生設計が特徴です。オペレータのウェーハアンロード要件に応じてハンドラーをユニットの両側から実行できるデュアルサイドモードを搭載しているため、最大150個のウェーハカセットをユニットに安全に出荷できます。ユニットはまた、安全ドアを備えており、ユニットを操作しながら潜在的な害から機械統合担当者を保護するのに役立ちます。PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHSは、3相110または208V電力を備えたACドライブツールを搭載しており、0〜200の半分/分の速度で自律的に実行できます。また、パルス幅変調（PWM）モーションコントロール、1024パルス/回転の分解能を持つ光学エンコーダを備えており、高精度のモーションコントロール、TeachPendant通信アセットを維持することができます。PWMと最適化技術により、すべての動きを0。001インチの再現性に保つことができます。すべての内蔵ドライブ、センサー、リミットスイッチ、および電気システムは、適切な動作を保証するためにPLCおよびHMI制御されています。ATM 105-1-2-S-RHSは、ユニットにウェーハを正確に配置してローディングするための真空チャックモデルも備えています。このユニットには、レーザーセンサーと視覚機器が含まれており、ウェーハが欠落した場合には、直接ウェーハの向きを調整し、オペレータを更新します。さらに、このユニットには、ウェーハの動きが一貫しており、遮断されたウェーハが正確に再指向され、経路に戻るように中継検出システムが装備されています。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHSは、効率的で信頼性の高いウェーハハンドラで、高度な技術処理の要求に対応して設計されています。その高度な機能と機能により、運用効率と安全性が向上し、衛生設計により安全な作業環境が確保されています。このウェーハハンドラは、急速な生産速度に追いつき、カーブの先を行くのを助けることができる信頼できるユニットをお探しの方に最適です。