中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #185016 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHSは、高精度のウェハ転送とアライメントを可能にするように設計された自動ウェハハンドラです。直径200mmまでのウェーハに対応可能で、2軸ロボットアームを使用して、異なるカセットシステム間でウェーハを移動させます。アームは、手動制御の下で最大3軸でウェーハを動かすようにプログラムすることができ、ウェーハの正確かつ正確なアライメントを可能にします。BROOKS ATM 105-1-2-S-RHSには、ウェーハ認識用の光学センサーが搭載されており、正しいカセット機器で各ウェーハを正確に位置、位置、整列させることができます。また、ビジョンシステムを使用して、転送中にウェーハを方向付けおよび整列させることもできます。さらに、ロボットアームは、必要に応じてウェーハをクランプおよびアンクランプするようにプログラムすることができます。PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHSは、信頼性、再現性、安全性の高いウェハハンドリングソリューションであるように設計されています。これは、ロボットアームをプログラムするために必要な基本的なユーザー入力だけで、最小限のオペレータ介入を必要とします。また、運転前後のセルフテスト手順を使用して、診断テストを自動実行し、発生する可能性のあるエラーを特定して報告することができます。ATM 105-1-2-S-RHSは堅いアルミニウムフレームと組み立てられ、きれいな操作条件を保障する塵フィルターを含んでいます。また、酸性センサーや防火装置など、工作員の長期的な安全を確保する一連の安全部品も装備しています。このツールには、必要に応じて追加の安全オプションを装備することもできます。最後に、BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHSは、幅広いウェハハンドリングアプリケーションで使用できます。これにより、さまざまな半導体製造、研究、実験施設での使用に適しています。BROOKS ATM 105-1-2-S-RHSは、高精度、プログラマビリティ、信頼性を備え、ウェーハの自動転送とアライメントに最適なソリューションです。