中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-100 #9064556 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-100は、最新のエレクトロニクスおよび半導体製造設備のニーズに対応するように設計された高性能ウエハハンドラです。このユニットは、多軸運動装置、高速ロボットアーム、デジタルイメージ処理を使用して、さまざまなサイズと形状のウェーハを迅速かつ正確に移動、クリーン、検査、および輸送します。BROOKS ATM-100は、3つの高解像度カメラを備えた高度なビジョンシステムを備えており、さまざまな機能を実行します。統合されたビジョンユニットは、配置中のウェーハの位置と向き、および迅速なエッジとコーナー認識を補正することができます。統合されたビジョンベースのセンタリングアルゴリズムにより、ユニットは各ウェーハの認識された位置に確実に位置し、反応することができます。また、統合ビジョンマシンにより、異なるウエハタイプを区別し、重要な寸法と欠陥を確認することができます。PRI AUTOMATION ATM-100には、開閉型FOUPコンテナと開閉型FOUPコンテナの両方を取り扱う熱FOUP（フロントオープニングユニファイドポッド）ハンドリングツールが統合されており、ウェハローダーから他の処理装置への半自動転送が可能です。このユニットは、最高のスループットと精度を維持しながら、静かで正確な部品処理を提供することができる真空ベースのウェーハ処理技術を備えています。ATM-100は、オペレータのニーズを満たすようにプログラムされたアプリケーション固有の処理アルゴリズムも備えています。この技術は、効率的なユーザー依存の部品処理ルーチンを可能にします。また、ウェーハ情報を安全にデータ交換できる独自のセキュア半導体データ交換プロトコルを搭載し、柔軟性と生産性を実現しています。安全性の面では、BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-100には、手動負荷およびアンロードの安全ゾーンと外部緊急停止、ならびに警報システムを監視および接続するための標準入出力ポートが含まれています。また、加圧スリーブや窒素製クリーンルームプロトコルなどの汚染のない方法も採用しています。BROOKS ATM-100は、高度なビジョンシステム、真空処理、アプリケーション固有の処理アルゴリズム、および独自のセキュア半導体データ交換プロトコルを使用して、最新のエレクトロニクスおよび半導体製造施設でのパフォーマンスを最大化する包括的なウェーハハンドラです。このユニットには、入出力ポートや窒素連結クリーンルームプロトコルなどの安全機能も備えており、ユーザーを保護します。