中古 BROOKS / PRI AUTOMATION Aerotrack #9099516 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION Aerotrackは、最も要求の厳しい半導体製造アプリケーションのニーズを満たすように設計された高度なウェハハンドラです。この装置は自動ウェーハローダー/アンローダーであり、異なるプロセスツールと関連機器間で複数のウェーハを迅速かつ確実に転送することができます。これは、多くのチップ製造ラインに費用対効果の高い省スペースのソリューションを提供します。BROOKS Aerotrackは、最小スペースで複数のウェーハ転送を可能にするように設計されており、ウェーハの迅速かつ簡単なロードとアンロードを可能にします。このシステムは、ローディング/アンロード操作中にウェーハの正確で再現可能な動きを提供する連結ロボットアームを使用しています。直径200mmまでウェーハを動かすことができ、最大重量は10kgです。ロボットは、さまざまなプロセスだけでなく、さまざまなウエハに対応するために最大限の柔軟性を提供するように設計されています。自動化されたウェーハ検査からダイボンドまで、さまざまなワークステーションにすばやく適応できます。PRI AUTOMATIONエアロトラックの高精度モーションコントロールと統合された安全機能により、幅広い生産環境で安全で信頼性の高い動作を保証します。また、追加の安全性のための衝突防止保護機能も備えています。その高度な制御ユニットは、個々のウエハ、追跡部品番号、シリアル番号のための一般的かつ特定の情報と一緒に自動処理操作が可能です。ACサーボモータを搭載し、低振動で高速かつ正確な立方運動を実現します。エアロトラックは、コントローラ、プリンター、カメラ、その他の関連プロセス機器など、さまざまな種類の外部機器に接続できます。その他の機能には、機械操作のための直感的なプラットフォームを提供するフル機能のタッチスクリーンインターフェイスが含まれています。このマシンには、SMEMA準拠のポートが装備されており、他の自動システムとの通信が可能です。全体として、BROOKS/PRI AUTOMATION Aerotrackは、ウェーハ処理の効率と精度を最大限に高めるように設計された、高度で信頼性の高いウェーハハンドラです。その洗練された機能と安全メカニズムにより、このツールはあらゆる半導体製造ラインに最適です。直感的なタッチスクリーンインターフェイスと他の機器との簡単な統合により、さまざまなアプリケーションに最適なソリューションです。