中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM/ATM 405/407 #293637481 を販売中

BROOKS ABM/ATM 405/407は、半導体業界のニーズを満たすように設計された高速ウェハハンドラです。これは、利用可能な最も先進的なウェーハハンドリングシステムの1つです。この装置は、オートメーションまたはマニュアルの2種類のウェーハハンドリングを選択できます。オートメーションモードは、カセットからカセットへの自動転送プロセスで高速動作を提供します。マニュアルモードは、ウェーハのより複雑な検査だけでなく、エラーを修正し、ウェーハの動きを修正するために使用されます。このシステムには、最終製品を検査および検証するための多くの品質保証オプションも含まれています。PRI AUTOMATION ABM/ATM 405/407は、1時間あたり最大2000ウェーハの速度を備えており、高スループットを実現します。このユニットは、ほとんどの大容量ウェーハラインプロセスと互換性があり、特定のウェーハラインの特定のニーズを満たすように構成することができます。可変ウェーハ径と厚さの収容、可変ウェーハ数、異なるロットサイズ、可変ロットシーケンスなど、幅広いプログラマブル機能を備えています。また、ABM/ATM 405/407は、自己完結型のカセットツーカセットウェハ転送プロセスも備えています。ほとんどのウェーハキャリアに対応することで能力を最大限に引き出すように設計されています。また、熱保護、内蔵診断、追跡機能など、さまざまな機械の健康と安全機能も備えています。BROOKS/PRI AUTOMATION ABM/ATM 405/407はメンテナンスが簡単で、徹底したドキュメントとオンラインサポートが利用できます。ABM/ATM 405/407は、信頼性が高く効率的なウェーハハンドラであり、大量のウェーハラインをより効率的で効果的で収益性の高いものにします。