中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 #9171112 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293は、半導体製造業界でウェーハ基板の動作を安全かつ制御するために使用される先進的なウェーハハンドラです。このデバイスは、ウェーハ基板の汚染や損傷を最小限に抑え、生産コストを最小限に抑えるように設計されています。BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293は、さまざまなサイズの離散ウェーハと連続ウェーハの両方に対応できる小さなフレームサイズを備えています。ウェーハの厚さ変化に対する最大許容±25µmを持ち、ウェーハが輸送経路に沿って確実かつスムーズに移動することを保証します。また、高精度、高速、安定性を備えており、安全で信頼性の高い方法でウェーハをポイントからポイントへ正確かつ迅速に移動させることができます。PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293は、真空と機械的ウェーハの両方のローディングで動作するように設計されています。統合されたロータリーリフトとサーボリフトにより、ウェーハの正確な位置決めとアライメントが保証され、繊細なウェーハのシグネチャがそのまま残ります。その洗練されたモーションコントロールシステムは、高度なアルゴリズムを備えています。ABM-407B-1-S-CE-S293はまた、ロボットアームの動きが不要な騒音や振動から解放されるように、振動分離、気候制御、振動減衰システムを組み込んでいます。これにより、ウェーハの損傷リスクを低減し、汚染を最小限に抑えます。また、ドライクリーンベースとポートを備えており、システムから空気とガスを除去し、ウェーハの汚染からの保護をさらに確保します。BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293には、真空ポンプ、グリッパー、リニアアクチュエータ、モータドライバの接続を可能にするさまざまなインターフェイスを含む、フルレンジのインターフェイスが付属しています。これにより、エントリーレベルのシステムから複雑なオートメーションアプリケーションまで、さまざまなウェーハ製造システムと互換性があります。また、完全なマシンビジョンシステムと互換性があり、高度なモーションコントロールとトラッキング機能を可能にします。結論として、BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293は、高精度で信頼性の高いモーションコントロールを提供しながら、汚染などの損傷から敏感なウェーハ基板を保護するように設計された、高度でコンパクトなウェーハハンドラです。振動・気候制御システム、ドライクリーンベース、包括的なインタフェースにより、幅広いウエハータイプと製造システムに対応できます。