中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 #293657679 を販売中

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ID: 293657679
ヴィンテージ: 2007
Robot 2007 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293は、半導体ウェハーの自動処理用に設計された先進的なウェハハンドラです。その高精度で高速な機能は、効率的で高速なウェーハ転送ソリューションをユーザーに提供します。BROOKSのABM-407B-1-S-CE-S293は3つの中心の部品から成っています;制御システム、運転された連結および屈曲アセンブリ据え付け品。制御システムはWindowsベースのOSで、ユーザーはさまざまなツールやエンジニアリングソフトウェアにアクセスできます。CAN、 Ethernet、 USBなど、モーションと通信を制御するための多種多様なオートメーションネットワークを提供しています。駆動リンケージは、メインコントロールシステムからウェーハマニピュレータフレームに電力を供給します。モーター、アクチュエータ、カップリングで構成され、ウェハの正確な位置決めが可能です。最後に、フレックスアセンブリ治具は、温度変動と高い振動に耐えることができるユニークに設計されたモーター式フレキシアセンブリです。また、ウエハ取り扱い時の摩擦を最小限に抑えるエアベアリングを内蔵しています。コアコンポーネントに加えて、PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293はいくつかの高度な機能も備えています。ウエハーの取り扱いは7インチ、200mmまで対応可能で、一度に最大6個のウエハーを取り扱うことができます。ウェハハンドラは、フレームレベルから3次元までのウェハ構成にも対応しており、配置、取り外し、回転、検査などの自動操作が可能です。ステージセーフティシャッター、環境スリーブ、ウェーハの簡単な移動とアライメントのための真空ワンドなど、いくつかのオプション機能が装備されています。全体として、ABM-407B-1-S-CE-S293ウェハハンドラは、半導体ウェハーの効率的かつ正確な自動処理が可能な先進的なデバイスです。精密に設計されたコンポーネント、高速動作、高度な機能を備えたウェハハンドラは、ウェハプロセスのニーズに最適なオートメーションソリューションをユーザーに提供します。
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