中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407 #132339 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407 Wafer Handlerは、基板と呼ばれる半導体ウェーハの正確な量を確実かつ正確に転送、整列、および処理するように設計された、高度に自動化された統合されたロボット機器です。BROOKS ABM-407の正確な設計と構造により、脆弱で高価な基板の効率的な取り扱いを必要とするアプリケーションに理想的なオプションです。PRI AUTOMATION ABM-407は、BRIO PASS Vacuum Clampsと呼ばれる加工チャンバーを使用して、石英やシリコンなど様々な材料で構築された基板を取り付けます。真空クランプに接続されたエンドエフェクタは、使用される特定のクランプ構成に応じて、一度に4から12の基板を保持することができます。位置決めシステムは、基板の正確な回転と位置決めを可能にする2軸ジンベールモジュールを使用しています。これにより、高精度なプロービングのための基板の正確な配置と再配置が可能になります。ABM-407は、既存のファクトリーオートメーションシステムにシームレスに統合できるように設計されています。ATMや他のマシンコントローラの業界標準モデルとインタフェースするように設計されています。さらに、BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407には、オペレータに潜在的な衝突を警告する警告ユニットなどの安全機能が組み込まれています。例えば、ウエハハンドラがオブジェクトや人に近づきすぎると警告機が点灯します。BROOKS ABM-407は非常に使いやすく、基板のローディングとアンロードにオペレータが簡単にアクセスでき、高い再現性と信頼性を備えています。このツールは、位置決めと基板認識、デバウンスおよびZチルト機能、プロービング精度を向上させるための統合ビジョンアセット、プロービングとアライメントのための高精度運動を備えています。さらに、PRI AUTOMATION ABM-407は、精密温度制御および湿度測定ソフトウェアも備えており、実験中に環境と基板を正確に監視することができます。全体として、ABM-407 Wafer Handlerは信頼性の高い自動ウェハハンドリングモデルであり、高精度で信頼性の高い基板の整列、取り扱い、転送が可能です。これは、基板が安全かつ効率的に処理できるように、さまざまな機能と機能を備えて設計されています。