中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 #9262263 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293は、半導体製造および生産システムにおける自動マテリアルハンドリング用に設計されたウェハハンドラです。その主な目的は、その後の処理ステップのために信頼性の高い方法でウェーハを移動し、ロードすることです。ハンドラーには直感的なオペレータインターフェイスが装備されており、操作とプログラミングが簡単で効率的です。BROOKS ABM-405-1-S-CE-S293ウェーハハンドラは、頑丈なステンレススチール製シャーシで構成され、水平と垂直の両方に格納されるように設計されています。直径200mmまでのウェーハに対応可能で、厚さは12。7mmまでです。このユニットには、ハンドラの反対側にある2つの独立した処理エリアがあり、最大3つのウェハを同時に収容できます。ハンドラの制御は、組み込みプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を介して実現され、ユーザー定義のモーションプロファイルとカスタム操作パラメータを可能にします。PRI AUTOMATION ABM 405-1-S-CE-S293には、精密な真空リフトカップと正確にキャリブレーションされたトランスポートアームを使用してウェーハをソースから目的地に正確に移動するピックアンドプレイス装置が装備されています。また、ウェーハの向きや厚さを認識し、異なるタイプのウェーハを正確に識別して最適な積み下ろしを実現します。ピックアンドプレイスシステムは、+/-5ミクロン以内のウェーハエッジの位置精度で、1時間あたり最大1,400サイクルの速度でウェーハを移動できます。最後に、ハンドラーには自己診断ユニットも組み込まれており、潜在的な問題を迅速に特定して修正することができます。全体的に、BROOKS ABM 405-1-S-CE-S293は、生産環境におけるウェーハの移動を容易にするように設計された、高度で自動化されたマテリアルハンドリングマシンです。信頼できるピックアンドプレースツール、内蔵の自己診断、直感的なユーザーインターフェイスを備えたこのウェハハンドラは、あらゆる半導体製造設備にとって非常に貴重な資産です。