中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 #188172 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293は、半導体製造プロセスを自動化するための高度なウェハハンドリングソリューションです。クリーンルーム用途向けに設計されており、統合された制御と組み込みの安全システムにより、高度な操作の柔軟性を備えています。BROOKS ABM-405-1-S-CE-S293には、機械の統合と制御に必要なすべてのデジタル入力、制御、および出力が装備されています。ステンレスフレームと耐久性と信頼性に優れたモータ駆動の機械部品により、最高の信頼性と性能を実現しています。PRI AUTOMATION ABM 405-1-S-CE-S293 300mmおよび200mmウェーハ処理に適しています。ダイフォームまたはウェーハ形状のウェーハの種類とサイズを多種多様に対応するように設計されており、正確な自動化と信頼性を確保しています。これは、カセットの上下に、300mmまでのサイズの高精度高さ調整と大きな作業エリアを備えています。ユニットの機械部品は、操作の柔軟性を可能にするさまざまな機能を備えて設計されています。これには、プーリーセットアップ、ウェーハの開口部、ローディング、オリエンテーション制御、およびストックを準備してウェーハをアセンブリのハンドリング部分に配置するための手動調整が含まれます。BROOKS ABM 405-1-S-CE-S293は、2つまたは4つのカセットを実行するように設定できます。また、個別のカセット方向を持ち、複数のウエハータイプを実行するようにプログラムすることができます。ウエハサイズ、形状、フォームファクタに合わせてウエハの向きを調整できます。また、ウェーハアライメントを正確に行うための手動スピードダイヤルと、ウェーハローディング精度を調整できる手動ショックアブソーバを備えています。高精度のセンサにより、ウェーハの動きを制御する統合真空システムにより、迅速かつ正確なウェーハのキャプチャと転送が可能です。ユニットには、オペレータの安全を保護するための手動および自動安全ゾーンも含まれています。PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293はセットアップと操作が簡単で、モジュラー設計はシンプルなプラグアンドプレイインターフェイスを提供します。統合された制御とモジュール機能の組み合わせにより、エラーのない試運転手順と既存の機器へのシームレスな統合が保証されます。このシステムは、いくつかの業界標準のオペレーティングシステムと完全に互換性があり、SEMI S2やISO 13849。1など、最も厳しいグローバルな安全規制を満たす高度な安全機能を備えています。