中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ #152175 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZウェハハンドラは、ウェハプローバ、プラズマエッチツール、およびウェハハンドリングを含むその他の機器に使用するために設計されています。16。536インチ×16。536インチのワークエンベロープを備えており、高精度の基板管理と大量生産アプリケーションの両方に適しています。BROOKS ABM 405-1-NOZは、高度なエンドエフェクターと真空吸引カップ機器を含むユニークなデュアルアーム、デュアルグリッパー設計を備えています。このシステムは、ウェーハ表面の振動や操作を最小限に抑え、安全で正確なウェーハ処理に最適です。ウエハハンドリング機構は、直径3〜12インチ、厚さ1。75インチまでのウエハーに対応するように設計されています。PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZは、ウェーハアライメント、位置決め、センタリング精度を向上させるマルチセンサービジョンユニットを内蔵しています。ウェーハのエッジを特定し、ウェーハの効率的な取り扱いとプローバ操作に必要な位置情報を提供することができます。このビジョンツールにより、オペレータは完全に自動化されたウェーハハンドリングを実行し、スループット時間を増加させ、手動による介入を最小限に抑えることができます。ウェハハンドラは、オンボードPLCコントローラを介して柔軟な制御機能も提供します。このコントローラは、正確で再現性のあるウェーハ処理プロセスを可能にし、機械の性能データをリアルタイムでフィードバックします。ウェハセンタリング精度やその他のキー値にデータを収集できます。ABM 405-1-NOZには革新的なマイクロチップ転送アームソリューションが搭載されており、マイクロサイズのチップやダイの加工に最適です。このトランスファーアームは、独自に制御されたサクションカップと指で、ウェーハを受信プローバーに適切に整列させて提示することができ、プロセス中に信頼性の高い再現性と精度を提供します。BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZは、連動したエンクロージャとプロセス領域の分離、フルタイムの接地経路監視、オペレータを保護するoverPressure/impulse監視など、最新の安全機能を備えています。このウェーハハンドラの安全コンプライアンスは、お客様のニーズと業界標準を超えるように設計されています。全体として、BROOKS ABM 405-1-NOZウェーハハンドラは、ウェーハテストおよびハンドリング機器に優れたものです。ロボットオートメーション機能により、効率的で再現性が高く正確なパフォーマンスを実現し、オペレータの安全性を最大限に高めます。信頼性が高く、安全で正確なウエハハンドリングが最も重要なアプリケーションに最適です。