中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ #152174 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZは、さまざまなウェーハ処理アプリケーションでの使用に適した柔軟な高速ウェーハハンドラです。100mm、 150mm、 200mmのウェーハに対応できるほか、1回の操作で最大26個のフラットチップをトレイに収納できます。半導体機器、接合・エッチング工程、ウェーハを使用した航空・医療・電子製品の製造に関するその他の用途に適しています。BROOKS ABM 405-1-NOZウェーハハンドラには、内部ウェーハトランスファーロボットと電動XYチルトステージがプリインストールされています。ロボットとXY-tiltステージが連携して、ウェーハの正確かつ正確な移動と配置を保証します。このロボットは、さまざまなモーションパスで動作し、ウェーハサイズと重量の広い範囲にアクセスできるため、標準的なウェーハハンドラの転送速度をはるかに超えることができます。ロボットに加えて、マシンはまた、すべての転送を監視し、制御するように設計された内部ミニトラッキングシステムが付属しています。これにより、ウェーハは転送中に正確に正確に配置されます。また、ウェハハンドリングのための真空および空気圧オプションの範囲を備えています。これにより、従来品から光学品まで、ハードや超薄型から壊れやすい多層構造まで、さまざまなウエハータイプに対応できます。この柔軟性により、正確な制御と位置決めを必要とするさまざまなウェーハ処理アプリケーションで使用することができます。PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZウェーハハンドラは、あらゆるプロセスラインに簡単にインストールおよび統合できる費用対効果の高いソリューションです。コンパクトで省スペースで、設備、ラボ、工場への設置に最適です。最大重量2kg、直径16。5cmまでの幅広いウエハサイズに対応し、幅広いウエハ加工用途にご使用いただけます。ABM 405-1-NOZウェハハンドラは、幅広いハンドリングオプションに加えて、信頼性と耐久性に優れた設計となっています。これは、過酷な産業環境での広範かつ集中的な使用に耐えるように設計されたステンレススチールフレームとスチールベースで構築されています。また、メンテナンス性が低く、使いやすく便利に設計されています。これらの機能により、ウェーハ処理のあらゆるニーズに対応する信頼性と費用対効果の高いソリューションとなります。