中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ #152173 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZは、ウェーハやその他の薄い基板を正確に操作するためのウェーハハンドラです。このウェハハンドラは、最小限のコストで極めて正確な自動モーションコントロールを必要とするプロセスに最適です。BROOKS ABM 405-1-NOZはクラス1のクリーンルームの条件を満たすように設計され、バッチおよび統合された工程適用で使用することができます。PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZは、ベースフレーム、ロボットアクチュエータ、および多数のオプションで構成されています。ベースフレームは構造アルミニウムとスチール製の部品で構成されており、ご希望の仕上げに塗装することができます。ABM 405-1-NOZのベースフレームは、調整可能なチルトイン機能を備え、前後のアクセス用に構成されています。さらに、ベースフレームはあらゆる種類の環境振動を吸収するように設計されています。BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZロボットアクチュエータは、高速望遠鏡モータで構成され、機械的ブレーキリフト機能を備え、正確で再現性のある位置決めを保証します。このロボットアクチュエータは、完全な3D使用と最大50000 rpmの複数の速度範囲とともに、多軸単面モーションコントロールを備えています。さらに、ロボットアクチュエータには、1対1の選択フィードバックを備えたツールチップ認識システムがあり、ウェハの自動処理が可能です。ベースフレームやロボットアクチュエータに加え、BROOKS ABM 405-1-NOZは幅広いオプションから選択できます。これらのオプションには、空気圧式ピンセット、真空エンドエフェクター、グリップチェックセンサー、ウェハダンプステーション、ウェハトランスポートユニットなど、幅広い操作を可能にするツールが含まれます。さらに、PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZには、Windows®ベースのグラフィカルユーザーインターフェイスと複数のレシピ管理システムを備えた直感的なユーザーインターフェイスも含まれています。ABM 405-1-NOZウェハハンドラは、さまざまな業界の精密ウェハハンドリング業務に理想的なソリューションです。費用対効果の高いパッケージで優れたモーションコントロールを提供し、高い精度と再現性を確保します。BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZのさまざまなオプションと機能により、より迅速で信頼性の高い生産および組立作業の実行可能な選択肢となります。