中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293 #189532 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293は、マイクロエレクトロニクスデバイス処理に使用されるウェハハンドラです。このウェハハンドラは、脆い半導体ウェハーやその他の壊れやすい基板の取り扱いのための自動生産ラインで使用されるように設計されています。BROOKS ABM 405-1-CE-S293は、ウェーハ搬送ステーションと制御機器の2つの主要コンポーネントで構成されています。ウェハトランスファーステーションには、ウェハセンタリングとトランスファー用に設計された真空式ウェハリフトピンツールが組み込まれています。このツールは、回転運動と低真空圧を使用して、ウェーハ上の真空圧力を損傷なく均等に分散させ、歩留まりとスループットを向上させます。制御システムはWindowsベースのユニットで、オペレータが処理するウェーハと基板の種類やその他の特定の要件を入力できるようにプログラムされています。コントロールマシンには、グラフ、統計プロセス制御(SPC)、アラームメッセージ管理などのユーザーフレンドリーな機能も含まれています。このツールは、センサーからのフィードバックを使用してプロセスパラメータの自動キャリブレーションを行い、正確なウェーハ転送を行うこともできます。この自動ウェハハンドラは、低所有コストを提供し、中小規模のマイクロエレクトロニクス製造環境での幅広い使用に適しています。PRI AUTOMATION ABM-405-1-CE-S293は、高品質で費用対効果の高いマイクロエレクトロニクスデバイスを製造しようとする企業にとって、高い再現性とスループットを確保し、メンテナンスと操作が容易な信頼性の高いウェーハ処理資産です。
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