中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293 #152178 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293は、効率的で信頼性の高い自動水平ウェーハ搬送を提供する高度なウェーハハンドラです。このウェーハハンドラは、最大直径8インチのウェーハを提供し、ウェーハの積み下ろしを管理するために幅広い業界で使用されています。堅牢でメンテナンスが容易なメカニカルシャーシ、精密Z軸リフティング、in-situキャリブレーション、すべての軸上のサーボドライブ、コンベア機器、および調整可能な真空ピックスローで設計されています。BROOKS ABM 405-1-CE-S293ウェハンドラには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えたマルチサイトコントローラが装備されています。この自己完結型ユニットは、ウェーハインプラント、ピックアンドプレイス、ウェーハラッピングなど、さまざまなアプリケーションにプログラムできます。半導体環境での負荷移植、ラインアライメント、チャンバーローディングなどの作業に適しています。直感的な制御に加えて、PRI AUTOMATION ABM-405-1-CE-S293は、120 x 30ピクセルの高解像度カメラを備えた統合ビジョンシステムを搭載し、データのキャプチャと分析を行います。このウェハハンドラは、オフラインとオンラインの両方の校正方法により、正確で信頼性の高い操作を保証します。さらに、さまざまな安全システムとエラーメッセージで設計されており、誤操作を防ぎます。BROOKS ABM-405-1-CE-S293でプログラム可能な設定には、ウェーハ径、ウェーハ厚、ウェーハ傾き、ウェーハ回転速度、前工程および後工程のステップ速度、コンベア速度などがあります。また、パーティションのないチップや長方形チップなど、複数のウエハータイプに対応する柔軟性も備えています。ピック&スローのサードアームは、X軸とY軸の+/-6mm移動で調整可能です。ABM-405-1-CE-S293は、強力で信頼性が高く、プログラムしやすいウェーハ処理ユニットです。高度な機能と技術により、スムーズで効率的なウェーハ輸送を可能にします。また、簡単に交換可能なツーリングを備えた効率的で費用対効果の高いメンテナンスプランも含まれています。この堅牢で信頼性の高いマシンは、ウェーハの制御、取り扱い、ロード、およびアンロードに最適です。
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