中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 400 #9254407 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 400は、大量の半導体生産のニーズに対応するために設計された高速ウェーハ処理装置です。ウエハハンドリングシステムにリアルタイムフィードバックを提供する統合ソフトウェアソリューションにより、高効率で高精度に設計されています。BROOKS ABM 400は、シングルウェーハからマルチウェーハバッチまで、幅広い生産要件に対応するように構成でき、標準およびカスタム設計されたシステムを幅広く提供します。PRI AUTOMATION ABM 400は、高効率サーボモータと、スムーズで静かな動作を実現する高精度リニアアクチュエーションコンポーネントを搭載しています。また、高度なビジョンベースのエンドエフェクタユニットを備えており、ウェーハとガイドの動きを調整します。さらに、ABM 400には絶縁された真空シール機とアクティブな熱制御ツールがあり、寿命を通じて一貫したウェーハ温度を維持します。BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 400は、ウェハ、プロセス、および人員の保護を確実にするために、いくつかの安全機能も備えています。これらには、機内安全インターロック、緊急停止スイッチ、および障害物が検出されたときに自動的にモデルをシャットダウンする障害検出アセットが含まれます。BROOKS ABM 400は、ウェーハ処理プロセスを完全に制御する統合ソフトウェア機器を備えています。ウエハの位置合わせや向きを制御し、荷重制限や速度の設定、ウエハの温度の制御・監視など、複数の機能を備えています。このソフトウェアは、プロセス監査用のトレーサビリティレポートとオペレータログファイルを作成することもできます。PRI AUTOMATION ABM 400は、生産効率を向上させ、コストを削減するために設計された、信頼性の高い汎用性の高いウェハハンドラです。これは、生産要件の広い範囲を満たすように設計されており、その統合ソフトウェアシステムは、正確さと安全性を保証します。性能と収益性を最大化するために、この最先端のウエハハンドリングユニットは、半導体業界の人々にとって優れた選択肢です。