中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 9700-8106-01 #9175431 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 9700-8106-01は、自動半導体製造プロセスで使用される自動ウェハハンドラです。これは、200mmおよび300mmウェーハ製造プロセスで使用するために設計された8軸ロボットウェーハ処理装置です。このシステムは、精密モーションコントロールとロボティクス技術を統合しており、カセット、フロントエンドウェハプロセスツール、重要寸法測定ツールなど、さまざまなソースからウェーハをロードおよびアンロードすることができます。このユニットは、最先端のモーションコントロール機能を搭載した堅牢なコンピューター制御マシンを搭載しています。ステッピングモーターを使用して正確な位置決めと制御を行い、スムーズで応答性の高い加速と減速を実現する完全デジタルサーボドライブツールです。誤り検出と修正アルゴリズムを使用して、ウェーハやツールの正確かつ安全なロードとアンロードを保証します。この資産は、強力なマイクロプロセッサを使用してカセットを自動的にスキャンし、ウェーハとその向きを特定します。BROOKS 9700-8106-01は信頼性および性能のために設計されています。モーションコントローラ、ロボットアーム、センサーは、半導体製造設備に関連する最も厳しい環境条件で動作するように設計されています。ウェーハ、工具、人員の損傷を防ぐさまざまな安全機能を搭載しています。例えば、ロボットアームの経路で障害物が検出された場合に自動的にプロセスを停止するセンサー機器が含まれています。また、前進する前に安全なクリアを識別して待つ衝突検出システムも含まれています。PRIオートメーション9700-8106-01も使いやすく、メンテナンスも簡単です。直感的なユーザーインターフェイスを備えており、オペレータはすぐにジョブを設定し、それを検証し、それをマシンに転送することができます。また、マシンのソフトウェアは、進化するニーズを満たすために迅速に更新することができます。さらに、ユニットはメンテナンス要件を最小限に抑えて長期間安定に動作します。9700-8106-01はウェーハおよび工具の自動積み下ろしのための有効な用具です。堅牢な設計、正確なモーションコントロール、安全機能により、複雑な半導体製造プロセスでの信頼性の高い選択肢となります。高度な自動化機能と使いやすいソフトウェアを備えたこのマシンは、完全に自動化されたウェハハンドリングツールを必要とする半導体製造設備にとって経済的で信頼性の高い選択肢です。