中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 9700-7232-01 #9175424 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 9700-7232-01は、半導体製造アプリケーション向けに設計されたウェハハンドラです。この装置は、カセットから6〜8インチウェーハを取り扱い、真空チャックに転送して向きを変え、プロセス室との間で搬送することができます。オートメーションシステムは、一連のベルト、ドライブシャフト、リニアモーションアクチュエータで構成され、その動きの範囲を通して滑らかで正確な動きを提供するために調和して動作します。ユニットの中心にはトランスファーアームがあります。2本の独立駆動アームからなる多軸デバイスで、作業範囲内でウェーハを正確かつ正確に制御できます。移動の腕の基盤はすべての3つの軸のまわりで自由な動きの範囲を可能にする縦の支持ポストに取付けられます。アームのベースには真空ポートも装備されています。この真空は、動作範囲内でウェーハを確実にグリップするとともに、最小限の動作を可能にします。アームのベースには、ウェーハの方向を検出するために使用される方向センサー（または'eye'）も装備されています。時計回りと反時計回りの両方の方向、および上下方向を検出できます。機械のもう一つの不可欠な部分は真空チャックです。トランスファーアームの端に取り付けられた平らな円形のプラットフォームです。プロセスチャンバへの搬送時にウェーハを確実にグリップするように設計されています。チャックには、真空が行われるときに引き込むように設計された一連のピンが装備されています。これにより、ウェーハを確実に所定の位置に保持しながらも最小限の移動を可能にします。このツールには、ウェーハをカセットからプロセスチャンバーに転送する一連のベルトも装備されています。ベルトはすべてサーボモータで駆動され、ベルトの速度と方向をスムーズかつ正確に制御できます。アセットには、ウェーハが常に正しい方法で転送され、プロセスが中断されないようにする一連のリミットスイッチとセンサーも装備されています。BROOKS 9700-7232-01は、半導体製造プロセスに精密かつ正確なウエハハンドリング機能を提供する高性能モデルです。堅牢な設計と幅広い機能により、6インチから8インチまでのさまざまなウェーハに対応できます。高度な動きと向き、信頼性の高いベルトとチャックシステム、数多くのセンサーを組み合わせることで、さまざまなアプリケーションでの自動ウェハハンドリングに最適です。