中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 70013740 #9169687 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 70013740ウェハハンドラは、製造および試験プロセス中に半導体ウェハーを安全に輸送するために使用される汎用性の高いラボ機器です。ウエハハンドラは、最大8インチのウエハーや12インチの大型ウエハーなど、幅広いウエハサイズの取り扱いに適しています。それはクラス10からクラス1000のクリーンルームで使用することができます。BROOKSウェーハハンドラは、3軸ウェーハトランスポートメカニズムを備えており、正確な位置に調整することができます。高度なモーションコントロールシステムとユニークなビジョン検証モジュールを備えており、正確で安全なウェーハ輸送を保証します。最大2つのウェハ容量を持ち、複数のウェハを同時に処理できます。密集した横の設計は一貫した、信頼できる操作を保障します。3軸モーションコントロールに加え、PRI AUTOMATIONウェハハンドラには、さまざまなオートメーション機能も搭載しています。カセットラックにウェーハを積み込み、ウェーハを回転させ、プロセスツールの上に配置するなど、最大12の異なるセットポイントを格納できます。また、トランスポートパラメータの自動キャリブレーション機能も備えており、トランスポートメカニズムを調整して高い精度と再現性を実現します。BROOKS/PRI AUTOMATIONウェハハンドラには、信頼性の高い真空ホールド機能も搭載しています。この機能は、吸引を使用してより小さなウェーハをしっかりと握り、ハンドリング中の損傷や汚染から保護するのに役立ちます。ハンドラーには、他の機械やプロセスによる環境からの振動からシステムを隔離する防振カバーも取り付けられています。ウェハハンドラには、いくつかのユーザーフレンドリーな安全機能が組み込まれています。これらには、許可された従業員だけがマシンにアクセスできるようにするためのインラインセキュリティロックが含まれます。また、オペレータの手が機械に近すぎるとハンドラーが作動するのを防ぐ安全インターロックシステムも含まれています。BROOKSウェーハハンドラは、半導体製造、試験、パッケージングなどの用途において、さまざまなウェーハサイズや材料を処理するための理想的なソリューションです。ユーザーに信頼性、正確性、安全性の高いウェーハ処理を提供します。