中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 7000 Series #80123 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 7000シリーズは、産業環境におけるウェーハの信頼性の高い生産を実現するために設計された高性能ウェーハハンドラです。この装置は、ウェーハ搬送システムの自動化とウェーハクランプ/アンクランプモジュールの2つの主要コンポーネントで構成されています。このコンポーネントを組み合わせることで、迅速で正確なウェーハ移動と生産ラインに沿った正確な位置決めが可能になります。オートメーション7000のトランスポートユニットは、直径8インチまでのウェーハを正確かつ信頼性の高いハンドリング用に設計されています。このマシンには、3軸リニアX -Y-Zガントリーと、その経路に沿って各ウェハを正確にアライメントするためのロータリーテーブルが装備されています。この輸送ツールは、生産ラインのニーズを満たすために最大スループットで高精度を提供します。ウェーハクランプ/アンクランプモジュールにより、ウェーハを高速かつ正確に処理できます。このモジュールは、4つの真空作動クランプを使用して、ウェーハを移動経路に沿って固定します。各クランプは450ポンド以上のクランプ力を提供することができ、ウェーハの動き中に確実に保持されます。モジュールの自動モーションコントロールは、正確さと再現性を提供し、ウェーハの適切なアライメントが維持されるようにします。オートメーション7000には、オペレータ、機器、およびウェハの安全を確保するための一連の安全機能も装備されています。搬送モデルの設計には衝突回避資産が含まれ、ウェハクランプ/アンクランプモジュールには緊急停止装置とエンクロージャ・インターロックが装備されています。全体として、BROOKS 7000は正確で効率的なウェーハハンドラであり、ウェーハの信頼性の高い生産を提供するように設計されています。統合されたトランスポートとクランプ/アンクランプシステムは、高速で正確なウェーハ移動を実現します。一方、トランスポートとクランプモジュールの両方の安全機能により、各ウェーハ処理動作の安全性と正確性が保証されます。