中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5877 #9353204 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 5877は、ウェーハ処理アプリケーションのスループットとパフォーマンスを最大化するように設計された自動ウェーハハンドラです。これは、最大21個のウェーハを同時に転送できるユニークな単面アーキテクチャを備えています。この装置は、ウェーハの連続スループットを確保するために、自動ハンドリング、ロード、アンロードの複数の段階で完全に自動化されています。自動化されたウェハハンドラには、ロボットアーム制御、プログラマブルリニアモータ、フル機能のプログラマブルロジック制御（PLC）システムなど、多くの機能が搭載されています。ロボットアームコントロールにより、手動または自動化された調整でウェーハを正確に移動できます。プログラマブルなリニアモータはウェーハの一貫した反復可能な動作を可能にし、PLCユニットはアプリケーション内の他のシステムとの運用データの交換を可能にします。また、この自動化されたウェハハンドラには、過剰および過不足の保護や機械的インターロック装置など、いくつかの安全機能が含まれています。BROOKS 5877には、コンベアツールをベースとしたウェハハンドリングサブシステムも含まれています。このサブシステムはローラーとローディングステーションからアンローディングステーションにウェーハを転送するベルトで構成されています。ローラーはウェーハを水平に動かし、ベルトは垂直に動かします。さらに、ウェハハンドラサブシステムには、ディスクドライブ、センシングアーム、カウンターなどのモータ駆動デバイスも含まれています。ディスクドライブはウェーハを持ち上げて下げ、センシングアームはウェーハデータを読み取り記録し、カウンターは処理されたウェーハの数を記録します。さらに、統合されたビジョンアセットにより、ローディングとアンロード時にウェーハを正確に追跡できます。また、ウェーハサイズや間隔の自動設定をサポートすることでセットアップ時間を短縮します。さらに、PRI AUTOMATION 5877には、PLC経由で接続および制御できる個別のウェーハ熱処理チャンバが付属しています。このチャンバーは、アニール、拡散、エッチング、カプセル化、ウェーハデボンディングなど、さまざまな方法でウェーハを処理するようにプログラムできます。要するに、5877はウェーハ処理アプリケーション用に特別に設計された自動ウェーハハンドラです。統合ビジョンモデル、ウェーハハンドリングサブシステム、およびウェーハの正確な追跡と処理を可能にするウェーハ熱処理チャンバを備えています。また、最大21個のウェーハを同時に処理することが可能で、幅広い安全機能を備えています。全体として、この自動ウェーハハンドラは、ウェーハ処理アプリケーションに信頼性と効率性の高いソリューションを提供します。