中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5864E #9007054 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 5864Eは、フロントエンド半導体製造プロセスで使用する業界をリードするウェハハンドラです。その耐久性と信頼性の高い設計で、それは極端な信頼性と再現性が最も重要な操作に特に適しています。BROOKS 5864Eウェーハハンドラは、最先端の設計により、プロセスモジュール内のウェーハの迅速かつ正確な位置決めを可能にし、歩留まりとシステムの安定性を向上させます。コンパクトなモジュラー設計により、さまざまなスペースに収まり、メンテナンスを最小限に抑え、スムーズで効率的な操作を実現します。ウェハハンドラは、最大6,800ウェハ/時間で正確なウェハハンドリングを可能にする非接触ウェハガイドシステムを備えています。また、ウェーハをインデックス化できるロボットアームとホットループ負荷/アンロードステーションを内蔵し、信頼性と再現性を確保しています。また、ウェハトランスポートシステムにより、振動を最小限に抑え、正確な位置決めを可能にします。PRI AUTOMATION 5864Eウェハハンドラは、8インチから12インチのさまざまなウェハサイズの効率的な輸送も提供します。オンボードインテリジェンスにより、プロセス監視と監視のレベルが向上します。さまざまなI/Oソースとの完全な統合により、優れたプロセス制御と歩留まりの最適化が可能になります。このウェハハンドラは、ESD予防措置クラス1およびIEC 61241-2-2のグローバル標準のためにさまざまな組織によって認定されています。これにより、動作中の安全性が確保されます。さらに、RoHS指令およびCEマーク認証にも準拠しており、高いレベルの安全性、環境への配慮、規制遵守が認められています。要約すると、5864Eは、半導体製造プロセスの正確な処理、改善されたスループット、および歩留まり最適化機能を提供するように設計された高度なウェハハンドラです。それは信頼できる操作を保証し、業界の法律や規制に準拠する最先端の設計を持っています。数多くの先進的な機能とメンテナンスの容易さにより、あらゆるフロントエンド半導体製造に最適なソリューションです。