中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1J1A1A5 #9141153 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 5858-1J1A1A5ウェーハハンドラーは、半導体加工用に設計された軽量で汎用性の高い機械です。直径200mmまたは8インチまでのウェーハに対応可能です。このハンドラは、内部ウェーハ搬送モジュールを使用して、ローダーからユーザーのウェーハ処理装置にウェーハを移動させます。このハンドラーは、ウェーハを正確に取り扱うためのピックと配置、アライメント機能を提供します。自動化されたウェハハンドラは、ヘッドとトレイという2つの独立したコンポーネントからなるモジュラー設計を備えています。頭部は直径8インチまでの基質を受け入れるように設計されています。4つの独立したエンドエフェクターを備えており、適切な処理のためにウェーハを整列させます。エンドエフェクターは、ホルダーにしっかり収まるようにウェーハを整列させ、搬送時の曲げを防ぎます。ヘッドは、滑らかで正確なモーションコントロールを提供するリニアサーボトレイに取り付けられています。2つのサーボは上下のトレイを独立して制御し、ヘッドを垂直方向または水平方向に移動させてウェーハの位置を最適に調整します。トレイまたはベースはハンドラの2番目のコンポーネントです。搬送時にウェーハを固定する真空装置を備えています。トレイはまた、ウェーハの汚染を最小限に抑え、積む前に重要な表面処理を行うように設計されたクリーニングシステムを備えています。ウェーハはトレイから取り出され、ユーザーのウェーハ処理装置に供給され、転送が完了します。BROOKS 5858-1J1A1A5 Wafer Handlerは、半導体加工アプリケーションでの信頼性の高い動作のために設計されたユーザーフレンドリーなユニットです。このマシンのモジュール設計、アライメント機能、自動ローディングプロセスにより、ウェーハの転送に最大限の柔軟性を提供します。このツールは、さまざまなウェーハ処理装置と統合することができ、複数のアプリケーションシナリオに最適です。