中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3 #9141156 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3は、ベアダイ製品とパッケージダイ製品の両方を扱うように設計されたウェハハンドラです。サイクルごとに最大8つのウェーハを処理でき、さまざまなウェーハサイズを受け入れるように構成することができます。このハンドラにはファンアウトアセンブリが装備されており、最大16個のエッチングウエハを個々のコンポーネントに分けることができます。ウェーハは自動的に入力トレイにロードされ、ファンアウトアセンブリに微細なピッチ転送ベルトで押し込まれます。ウェーハはさらに、マルチレベルの電動ビジョン装置によって分離されています。ファンアウトアセンブリの出力スロットは、分離されたウェーハを機械式ピックアンドプレイスヘッドに移動し、それらをインデクサターンテーブルに転送します。アライナーはウェーハを把握し、アライナーをインデックス化し、ウェーハをインデックス付き出力スロットに堆積させます。BROOKS 5858-1E2A1A3には、最大動作温度300°Cの2つの独立制御ウェーハロードロックが装備されています。デュアルウェハロードロックは、個別または直列に操作できます。ウェハハンドラは、ウェットとドライボンディングの両方のプロセスをサポートし、ワイヤーボンディングやダイアタッチなど、さまざまなプロセス手順に使用できます。また、ハンドラは、独立したインターフェイスモジュールで手動操作に使用することができます。制御エレクトロニクスとソフトウェアは、ウェーハの正確な登録を提供し、プロセスパラメータとレシピのデータ保存を提供するように設計されています。ウェーハハンドラは、安全で効率的な操作のために設計されています。材料の互換性と容易なセットアップにより、半導体業界のさまざまな用途に最適です。PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3の高度なモジュラーアーキテクチャにより、ロボットやダイハンドラなどの他のコンポーネントと統合して自動ダイハンドリングシステムを作成できます。統合ビジョンユニットは、加工品の向き、サイズ、形状の誤差を検出することができ、プロセス精度の向上と歩留まりの向上を可能にします。ウェーハハンドラにはメンテナンスアクセスポートも装備されており、ユーザーはマシンをすばやく検査してメンテナンスすることができます。コンパクトなサイズと低ノイズ動作により、5858-1E2A1A3は最小限の破壊で最大のパフォーマンスを提供します。