中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263592 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Eは、マイクロエレクトロニクス、半導体、太陽電池製造プロセス向けの高度なウェハハンドラです。高精度、低粒子生成、および幅広い製造環境での信頼性の高い動作を提供するように設計されています。BROOKS 5850Eは、高度なプロセス制御と簡単なメンテナンスのための統合されたマイクロプロセッサ制御操作を備えています。このシステムは、平面、長方形、ポケットなど、さまざまなウェーハを処理することができます。また、リアルタイムステータス検出、プロセスストップアットソース制御、緊急真空シャットオフなどの高度な機能と安全機能も備えています。PRI AUTOMATION 5850Eは、ウェーハの自動積み込みと納入、1-360°からのウェーハ回転、ウェーハの選別、大量生産の要件を満たすバーンイン機能などの機能を備えています。また、幅広い処理能力を提供し、一部のアプリケーションでは両面ウェハを処理することができます。5850Eには、適切な動作を保証するための多数のコンポーネントが含まれています。真空チャンバーはステンレス製で、低粒子生成用のガスパージ機能を備えています。ウェハハンドリング用の真空と圧力を生成するために電気空気システムが使用されています。ロボットアームには速度、トルク、加速制御を搭載し、ウェーハの正確な配送と配置を実現しています。BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Eは、製造プロセスにおけるパフォーマンスの向上とダウンタイムの短縮を実現するよう設計されています。多数のプロセス制御システムと互換性があり、現在の生産システムに簡単に統合できます。直感的なユーザーインターフェイスにより、簡単なセットアップと操作が可能です。また、製造工程で発生する問題の特定と解決に役立つ高度な診断機能も備えています。BROOKS 5850Eは、高度なウエハハンドラと小規模生産のための理想的なソリューションです。これは信頼性が高く、さまざまなアプリケーションで優れた性能を提供します。マイクロエレクトロニクス、半導体、太陽電池製造プロセスの成功を確実にするために、最新の技術で設計されています。