中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263590 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Eは、ウェーハアセンブリのタイムリーで信頼性の高い処理用に設計された汎用性の高いウェーハハンドラです。この自動化されたツールにより、ロード、転送、アンロードなど、1サイクルで最大12個のウェーハを正確に処理できます。BROOKS 5850Eは、研削・研磨に最大6本のスピンドルを使用して、精密な研削・研磨・バリ取り作業も可能です。専用の4軸ウェーハ操作システムにより、ウェーハの正確な位置決めを可能にし、船間間の迅速かつ正確な移動を可能にします。高度な搬送シリーズロボットには、セラミックブラシと正確なウエハハンドリング用のサクションカップが装備されています。その空気圧グリッパーは、自動ローディングとアンロードのプロセスに効率的なフォース制御を提供します。PRI AUTOMATION 5850Eは、自動レシピの設定、スループットとプロセスの再現性の最大化、手動操作の開始を可能にする直感的なソフトウェアプラットフォームを備えています。レシピのリビジョン、デバッグ、シミュレーションなど、リアルタイムのレシピ管理（RRM）機能をサポートしています。このシステムには、オペレータの安全性と最高のパフォーマンスを確保するための堅牢な安全対策が装備されています。その堅牢な安全機能には、チャンバーインターロック、シングルサイクルのリバースインターロック、ブレーキ機能、各ウェーハトレイの速度制御およびリミットスイッチが含まれます。5850Eは印象的で包括的なウェーハハンドラシステムであり、顧客に自信を持って正確かつ一貫性のあるウェーハを処理する能力を提供します。この自動化プラットフォームは、大量生産サイクルに最適で、効率的で信頼性の高いウェーハ処理に優れた精度と再現性を提供します。