中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263589 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Eは、半導体製造設備のための汎用性と信頼性の高いウェハハンドラです。完全に自動化された操作により、処理プロセスを通じて迅速かつ正確にウェーハを移動することができます。BROOKS 5850Eは、2つの独立した256ステップステップ/サーボモータ軸システムによって駆動されます。各軸装置は、1。3ミクロンのステップ分解能で、ウェーハを正確に配置することができます。ハンドラは最大3つのウエハートレイを装備することができ、一度に最大48mmの200mmまたは66mmの150mmウエハを保持することができます。また、最大4つの500mmウェーハに対応できます。PRI AUTOMATION 5850Eはまた、独自の機械、空気圧、真空システムを備えた2つのロードロックを標準装備しています。これにより、ウェーハトレイにウェーハを迅速かつ正確にロード/アンロードし、大量処理によるダウンタイムを削減し、粒子汚染を低減することができます。5850Eには、プログラム可能な非常停止ユニット、オプションのビーム検出器、センサーの配列など、多くの安全機能も装備されています。これらの機能は、すべての操作がスムーズかつ安全に実行されていることを保証し、保護の余分なレベルを提供します。BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Eのコントロールマシンは、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）で構成されています。これにより、短時間で大量のウェーハをカスタマイズすることができます。ユーザーは、マシンのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を介してパラメトリックデータにアクセスし、プロセスを実行して新しいものを作成するための事前定義されたレシピにアクセスすることもできます。BROOKS 5850Eは、半導体製造設備で使用する効率的で正確で信頼性の高いウェハハンドラです。調整可能なトレイツール、ロードロック、安全機能、直感的な制御資産により、大量の取り扱いに最適です。