中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263576 を販売中

BROOKS Model BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handlerは、半導体製造環境およびその周辺でウェーハを安全かつ正確に処理および移動するように設計された精密オートメーション装置です。ハンドラーは、1つのハンドリングステーションから別のハンドリングステーションにウェーハを確実に輸送するために構築されており、クリーンルームまたはウェーハ製造環境で安全に使用できます。モデルBROOKS 5850Eは、ウェーハハンドリングサブシステム、ロボットサブシステム、ペリフェラルサブシステムの3つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハハンドリングサブシステムは、ウェーハロボットと関連する周辺機器との間のインタフェースであり、ウェーハハンドリングサブシステムの製造プロセスを通じてウェーハのハンドリングを制御する責任があります。スプリング式の脱進機を使用したウェーハの安全で安全な取り扱いと、ウェーハのピックアップとデポジットのためのクリーンツールを提供するように設計されています。Model PRI AUTOMATION 5850Eのロボットサブシステムは、搬送システムでウェーハを移動するタスクを実行します。150mm （6インチ）ウェーハ12本、200mm （8インチ）ウェーハ4本の処理能力を持つ高速二軸ロボットで構成されています。高速DCサーボモータを搭載し、精密かつ一貫した動作を実現し、わずか0。3秒で0からフルスピードまで加速しながら780mm/秒の速度に到達することができます。ロボットは+-0。04mmの位置精度を採用しています。モデル5850Eの周辺サブシステムには、ウェーハローダーやアンローダー、サーボドライブ、ウェーハプローバ、ウェーハトレイ、その他様々なフィクスチャやアクセサリなど、ウェーハの製造に必要なすべてのコンポーネントが含まれています。このサブシステムは、関連するすべての周辺機器がシームレスに動作するように設計されており、追加のコンポーネントを汚染や輸送エラーの原因にすることはできません。結論として、PRI AUTOMATION Model BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handlerは、半導体製造施設の周辺でウェーハを安全かつ正確に取り扱い、移動するように設計された高度なオートメーションユニットです。+-0。04mmの位置精度で正確かつ一貫した動きを可能にし、最大16個のウェーハを780mm/secの速度で輸送することができます。マシンは、関連するすべての周辺機器がソースフリーであり、汚染やエラーなしで動作するように設計されています。