中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263573 を販売中

BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E
ID: 9263573
Mass flow controller Type: D VCR (M), 1/4" AR 50 SCCM.
BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Eウェーハハンドラは、さまざまなプロセスアプリケーションのウェーハを正確に管理および操作するために使用される高度なツールです。この装置は、さまざまな産業および商用アプリケーションにおいて信頼性の高い効率的なウェーハ処理を保証するために、幅広い機能を利用しています。BROOKS 5850Eモデルのウェーハハンドラシステムは、インテリジェントオートメーションコントローラ、高速ロボットアーム、真空グリッパーで構成されています。この統合されたユニットは、狭いスペースや狭いスペースでも正確なウェーハ処理と処理を可能にします。また、ロボットアームにはフォースセンサマシンを搭載し、ウェハの効率的でダメージフリーな取り扱いが可能です。自動化されたコントローラは、ロボットアームからグリッパーまで、ツール全体を制御します。望ましいウェーハ径とロボットアームの高さなど、機器のすべてのパラメータを設定することができます。さらに、このインテリジェントコントローラには、ロボットアームの効果的かつ正確な使用を保証するためのさまざまなガイドラインを含む組み込みソフトウェアが含まれています。コントローラはまた、すべての処理データを記録および保存し、プロセス制御の改善と資産管理の改善を可能にします。ロボットアームは軽量な素材で構成され、人間工学に基づいた設計で生産性を向上させています。それはその長さに沿って蝶番を付けられ、強力なモーターが装備されています、運動の包括的な範囲を可能にします。ロボットアームに取り付けられたグリッパーはアルマイト加工されたアルミニウム製で、安全なウェハホールド用のカスタム設計の真空圧力モデルを備えています。PRI AUTOMATION 5850Eウェハハンドラは、効率的で自動化されたウェハハンドリングにおいて不可欠な要素です。本装置は、直径40mmから150mmまでのウェーハを取り扱うことができ、重量を20kgまで持ち上げることができます。さらに、システムは任意の角度でウェーハを回転させることができ、任意の環境に設置することができます。研究開発、ウェーハ選別、高精度切断、ウェーハコーティングなど、さまざまな用途に最適なツールです。ウェーハハンドラは、信頼性と効率性5850E高いパフォーマンスにより、ウェーハハンドリングプロセスを自動化しようとするあらゆる組織に最適です。
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