中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263562 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handlerは、高温半導体ウェーハを安全に取り扱い、輸送し、大規模および中規模ウェーハ生産におけるウェーハスループットを最大化するために設計された最先端のデバイスです。このウエハハンドラは、幅広い電子機器の製造において、さまざまな用途に対応するため、2〜6インチのウエハサイズを取り扱うことができます。このマシンは、正確なウェーハの向きと位置決めを可能な限り最高の精度で提供する統合ビジョン装置を備えています。BROOKS 5850Eには、高トルク6軸マニピュレータアームとモーター変換機能が搭載されており、生産ウエハの動作を迅速に完了できます。また、ツールチェンジャーシステムを備えており、最大3つの異なるウェーハクランプツールを簡単に切り替えることができます。これにより、ユーザーは幅広いウェーハ処理オプションを提供します。さらに、輸送中のウェーハの損傷を最小限に抑えるための振動減衰技術と、特許取得済みのロードオンザフライウェーハクランピングユニットを内蔵しています。また、人員だけでなく、他の機械やコンポーネントを保護するための安全機能も搭載しています。これらには、エンクロージャに違反した場合やホットウエハが検出された場合に即座にアセットを停止する一連のトリップポイントを備えた内部エンクロージャリーク検出ツールが含まれます。また、機器のセンサーのいずれかが問題を検出した場合にユーザーに警告するセルフモニタリングモデルも備えています。PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handlerは、スピード、柔軟性、正確性、安全性を兼ね備えた高度で信頼性の高いシステムです。これは、あらゆる商用または研究用半導体ウェーハ処理アプリケーション用に設計された汎用性の高いツールであり、長年の信頼性とトラブルのない操作をユーザーに提供することが確実です。