中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263559 を販売中

BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E
ID: 9263559
Mass flow controller Type: D Ar (2) SLPM.
BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Eは、今日の最先端の半導体製造装置の厳しい要件を満たすように設計された高性能ウェーハ処理装置です。この自動ハンドリングシステムは、非常に堅牢で人間工学的に優しい設計を備えており、オペレータの安全を最大限に確保しながら、すべての生産プロセスを迅速かつ効率的に完了させることができます。BROOKS 5850Eは、統合されたロボットハンドラーと完全に制御可能なマニュアルオプションの両方を提供しており、ユーザーはさまざまなサイズと種類の最適なインストールとハンドルウェーハを選択することができます。統合ロボティクスは、最高速度2000度/秒の4軸ロボットアームと最新の安全認証モータ制御ユニット(MCSS)を備えています。ロボットシステムは、さまざまなアプリケーションと生産ニーズに対応するための最大限の柔軟性を可能にします。PRI AUTOMATION 5850Eには、他のウェハハンドリングマシンにはない、これまでにないレベルの精度と制御を提供するいくつかのオプション機能も装備されています。これには、フルサイズの2Dビジョンツールで、4つの側面にわたって照明、3Dビジョン検査システム、非標準ウェハの適切な取り扱いと転送のためのサブプロセスウェハマッピング、およびウェハキャリアのリアルタイム検出と識別を可能にするキャリア検出アセットが含まれます。上記の素晴らしい機能に加えて、5850Eには使いやすいように設計された直感的なユーザーインターフェイスがあり、リアルタイムエラーレポート、ヘルプメニュー、トラブルシューティングガイドを提供しています。ウェハハンドリングモデル全体も完全に自律的に設計されており、オンサイトまたはリモートのオペレータによる人間の介入を必要とせずに実行されます。このユニットには、自動化されたデータ処理とレポート機能も備えており、ユーザーはすべてのウェハハンドリング操作の非常に詳細なログを生成できます。全体として、BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Eは、業界最高レベルの精度、制御、柔軟性を提供する、最高レベルのウェーハ前処理オートメーション機器です。BROOKS 5850Eは、最新のロボット、ビジョン、自動化されたソフトウェア技術を組み合わせることで、すべてのウェハハンドリング操作が迅速かつ正確に完了することを保証します。堅牢で費用対効果の高い信頼性の高いウェーハ前処理システムをお探しの方には、PRI AUTOMATION 5850Eが最適です。
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