中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9245268 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Eは、電子顕微鏡をスキャンするためのウェーハを迅速かつ正確にロードおよびアンロードするように設計されたロボットウェーハハンドラです。特に適応性が高いように設計されており、異なる基板サイズとロード/アンロード作業の迅速な設定が可能です。このハンドラーは、PRIの特許取得済みのシャトルロボット技術を利用しています。この技術は、モジュール式のロボットエンドエフェクタを使用して基板と相互作用し、輸送します。この装置は、スループットを向上させ、サイクルタイムを短縮するさまざまな動作点に基板を迅速に移動させることができます。また、石英、セラミック、アルミナ、シリコン、金属など、幅広い基板タイプの実装と取り扱いにも対応しています。BROOKS 5850Eは信頼性が高く、比類のないパフォーマンスを提供します。基板のサイズや向きに応じて、1時間あたり最大200ウェーハのスループットが可能です。さらに、最先端のビジョンシステムとカスタマイズされたアルゴリズムにより、最適な基板ローディングとアンロード処理が可能です。ハンドラーの設計はまた容易な維持および整備を可能にします。柔軟な操作システムを備えているため、物理的に機械を分解する必要がなく、アップグレードと構成が容易になります。さらに、自動化されたユニットにはエラー診断機能が搭載されており、オペレーション担当者が問題を迅速に診断し、最適な機器性能を維持することができます。全体として、PRI AUTOMATION 5850Eはウェーハ処理アプリケーションに最適です。高信頼性、高速、高精度であり、ウェーハの迅速かつ正確なロードとアンロードを可能にします。最先端のビジョンシステムとロボティクスを活用し、最適な自動基板積み下ろしプロセスを実現します。最後に、ハンドラーは維持し、改善された機械性能を提供する改善すること容易であるように設計されています。