中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #293763233 を販売中

BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E
ID: 293763233
Mass flow controller Gas: H2 Flow rate: 100.
BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handlerは、生産のさまざまな段階で小規模から中規模のウェハを処理するために設計された、大容量の半自動ウェハハンドリング装置です。この半自動システムは、ウェーハの転送、アライメント、向きなどの複数のタスクを実行することができます。BROOKS 5850Eの頑丈な金属構造は精密操作および反復可能な正確さのために設計されています。PRI AUTOMATION 5850Eは、直径5。50インチ(140 mm)までのシリコンウェーハの取り扱いに適しています。それはまたガラス、水晶、またはフェライトのような他の基質を扱うことができます。調節可能なウェーハチャックと便利な操作のためのフットペダルを装備しています。このユニットには、多軸モーションコントロール、サーボモーター、プログラマブルモーションコントローラなどの最新のモーションコントロールが搭載されており、正確で正確なウェーハ処理が可能です。5850Eは、統合されたPCベースのオートメーションコントローラと簡単な操作のためのヒューマンマシンインタフェース(HMI)で構成されています。HMIは、ウェーハトラッキングやトレーサビリティ、アラーム管理、スケジューリング、データ収集、統計レポートなど、さまざまな自動化された機能を提供します。さらに、BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Eは、既存の工場ネットワークに簡単に統合するための完全なマシンネットワーキング機能を提供します。BROOKS 5850Eはクリーンルーム用に設計されており、密閉されたアルミニウムシュラウドを備えており、ツールを涼しく静かに保ちながら、ほこりや他の空気中の汚染物質を取り除きます。また、可変変位ロードプレートとショックアブソーバを備えており、ウェーハの低レベル処理が可能です。また、緊急停止ボタンやライトカーテンなどの安全機能を搭載し、ユーザーやオペレーターの安全を確保しています。PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handlerは、自動車、エレクトロニクス、半導体などの大量生産ニーズに最適なソリューションです。自動化と効率化のために設計された信頼性と柔軟性の高いモデルです。優れた設計、複雑なモーションコントロール、自動化された機能、安全機能により、5850Eは正確で正確なウェーハ処理に優れたソリューションを提供します。
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