中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850C #9144548 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850Cは、さまざまな半導体製造プロセスでウェーハを迅速に移動および操作するように設計された自動ウェーハハンドラです。ロボット装置は、プロセス性能を維持し、高いデバイス歩留まりを生成するために正確なウェーハ処理を実行します。このシステムは、1つのワークステーションから動作し、最大4台のウェーハロボットを制御することができます。BROOKS 5850Cは、さまざまな半導体製造環境で生産性を最適化する信頼性の高い設計で構築されています。全軸0。001mmの精度を再現した超精密モーションコントロールユニットです。これにより、微細なウェーハの変更が可能になり、信頼性の高いデバイス性能を実現します。この機械には、事前にプログラムされたパラメータを使用して迅速なウェーハ選別を可能にするビジョンガイド検査機が装備されています。ロボットはウェーハの半径と直径を自動測定し、ウェーハのエッジを自動検査することも可能です。保護ウエハチャンバーには、フィルターと真空/窒素交換機能が装備されており、汚染のないウエハハンドリング操作を完了することができます。このツールはまた、統合されたプロセス制御のためのレシピプログラミングなど、さまざまな機能を備えた直感的なユーザーインターフェイスを備えています。ロボットは、高度な製造技術を使用することで、速度、精度、信頼性を向上させることができます。さらに、シミュレーションとモデリングを使用してプロセスの問題を解決することができ、自動キャリブレーション機能を使用すると、ロボットのパフォーマンスが時間の経過とともに維持されます。要するに、PRI AUTOMATION 5850Cウェーハハンドラは、半導体製造におけるさまざまなウェーハ処理タスクを迅速かつ正確に完了するように設計されたインテリジェントで効率的なロボットです。高度なプロセスコントロールと信頼性の高いモーションコントロールアセットを組み合わせることで、タイムリーに高いデバイス歩留まりを生み出すことができます。