中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 4500-5158-01 #9171655 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 4500-5158-01は、半導体製造装置のローディングプロセスを自動化するために使用されるウェハハンドラです。このデバイスは、1つのウェーハを1つのステーションから別のステーションに素早く正確に移動させ、より迅速な製造プロセスを作成するように設計されています。BROOKS 4500-5158-01は鋼鉄から組み立てられる頑丈なフレームから成り、250°C （482°F）まで温度を扱うことができる5つの熱された地帯があります。ウエハアプリケーションをスキャンし、適切なフィット感を確認するためにサイズを測定するために使用される高度な光学システムが含まれています。このスキャンシステムは、ウェーハの正確な位置決めと動きを保証します。また、製造施設の各所に設置された多数のオーブンへのウェーハの配置を正確に制御できるロボットアームを装備しています。このロボットアームは高度なサーボモーターを備えており、出力が高いため、ほんの数秒で正確な角度に移動できます。ウエハハンドラポートには、ウエハハンドリング機能を強化する専用の真空ノズルが装備されています。真空ノズルは、取り扱い工程中に印加された真空圧力を正確に制御することができるため、ウェーハアライメントおよびキャプチャ時にさらなる精度の層を提供します。最後に、PRI AUTOMATION 4500-5158-01には、プロセス中のウェーハへの損傷を防ぐためのさまざまな安全メカニズムが含まれています。例えば、ウェーハハンドラーがウェーハがオーブンに侵入しているか、または敏感な領域に侵入しようとしていることを検出すると、プロセスはすぐに中止されます。全体として、4500-5158-01ウェーハハンドラは、半導体製造工場の生産プロセスを合理化するように設計された高度で高効率な機械です。ウェーハの正確かつ正確な取り扱いを確保することで、セットアップ時間を大幅に短縮し、生産時間を最大化することができます。