中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 170692 #9201725 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 170692は、半導体ウェーハと基板をプロセス間で移動するように設計された先進的なウェーハハンドラマシンです。ウェハの薄型化・洗浄、ダイボンディング、ダイアタッチプロセスなど、半導体・マイクロエレクトロニクス分野で使用されています。BROOKS 170692ウエハハンドラには、独立して1つのウエハと基板を操作および転送できる2つの独立したロボットアームが装備されています。最初のロボットアームには、その端に位置する高度なグリップ機構が装備されています。このメカニズムは、単一のウエハまたは基板を把握し、適切な場所に配置することができます。2つ目のロボットアームには専用のカセットメカニズムが装備されています。カセットメカニズムは、カセットからウェーハを転送し、適切な場所に配置することができます。機械はまた偶然またはいたずらな操作を防ぐ保証メカニズムが装備されています。PRI AUTOMATION 170692ウェーハハンドラはプログラム可能で、ウェーハサイズ、操作、カセット位置、プロセス温度など、いくつかのユーザー定義パラメータを提供します。また、ダイクランプ、プリクリーニング、ポストダイ処理など、さまざまな安全対策から選択することができます。このマシンは、ほとんどのウェーハ処理システムと互換性があり、他のオートメーションシステムと統合することができます。170692は、内蔵のサーマルカメラやデジタル顕微鏡など、いくつかの高度な機能を備えています。これらの機能は、加工および処理中に材料とその特性を検査および分析するために使用されます。また、ウエハの形状や向きを認識できるビジョンシステムを搭載しています。BROOKS/PRI AUTOMATION 170692ウェーハハンドラは、過酷で過酷な環境での長期運用に対応して設計されています。この機械は速く、正確なウェーハのローディングおよび荷を下す操作のために設計されています。また、信頼性が高くメンテナンス性が低く、部品の修理や交換が最小限に抑えられています。また、このマシンは非常に費用対効果が高く、信頼性の高いオートメーション機能を手頃な価格で提供します。