中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 15500-02 #293585883 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 15500-02ウェーハハンドラは、半導体、太陽、MEMS処理環境におけるウェーハの精密材料処理に使用される先進的なロボット機器です。それは特定のプロセス内の基質のサイズおよび様式のフルレンジを運ぶ精密で、信頼でき、反復可能な方法を提供するように設計されます。このシステムは、さまざまなプロセス要件や構成に対応するためにさまざまな方法で使用できます。BROOKS 15500-02は、ハードウェア、ソフトウェア、ロボット制御システムを統合し、特定のプロセス内でウェーハを操作するための単一のプラットフォームを提供する自己完結型の完全統合ユニットです。これは、個々のお客様の特定の要件とプロセス構成を満たすように構成することができるモジュラー設計を備えています。標準的なマシンには、堅牢で統合されたコントローラとドライブ、強力な多軸ロボットプラットフォーム、フルスイートのセンサー、イメージングシステム、およびビジョンシステムが含まれます。ウエハハンドラは、高度な視覚誘導ロボットアームを備えており、シンギュレーションエラーとパーティクルカウントの削減を排除するように設計されています。高度な視覚誘導ロボットを使用してウェーハを正確に配置し、高い再現性と精度を確保します。アームは、異なる隣接点の間を高速で横断することができます。このツールは、直径6インチのウェーハまで効果的に処理することもできます。アセットの統合データ収集とソフトウェア制御は、プロセスのニーズに合わせてオーダーメイドされています。PRI AUTOMATION 15500-02ウェーハハンドラーには、デバイス制御とプログラミングのための多様なソフトウェアライブラリが含まれています。Simple Network Management Protocolベースのネットワーク管理は、完全なリモートアクセスを提供します。ソフトウェアは、ウェーハ転送、マテリアルハンドリング、およびその他のプロセス固有の操作を自動化できます。ロボット技術とオートメーション技術はますます半導体加工の重要な要素になりつつあります。BROOKS/PRI 15500-02ウェーハハンドラーは、半導体業界のニーズに合わせて特別に設計された先進的で高性能なモデルで、ウェーハ材料の処理に精密で信頼性が高く再現性の高い制御を提供します。モジュール設計により、異なるプロセス要件と構成を満たすために十分な柔軟性が確保されています。自動化されたウェーハ転送とマテリアルハンドリングのための統合されたビジョンガイドロボティクスとソフトウェア制御は、最高の効率と精度を提供します。その結果、BROOKS/PRI AUTOMATION 15500-02ウェハハンドラは、半導体生産環境にとって貴重なツールです。