中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 144868 #9201727 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 144868は、半導体業界向けに設計されたウェハハンドラです。全自動ロボット駆動のカセットツーカセット搬送装置で、さまざまなプロセスと試験ステーションの間でウェーハを移動するように設計されています。このシステムは、調整可能な転送メカニズムと複数のハンドリングオプションを備えた幅広いカスタマイズオプションを提供します。ウェハハンドラは、生産および開発の両方に使用できます。精密な移動機能を備えたロボットアームを備えており、各ウェハを指定された場所に正確に転送できます。また、最大80mm/秒の速度に達することができます。このユニットには視力検査機も含まれており、ウェハ上の欠陥を特定して特定することができます。ウエハハンドラは、1つのカセット内でさまざまなウエハ径と種類に対応できます。これにより、さまざまなプロセスに使用することができます。また、ウェーハごとに適切なプロセスパラメータが設定されていることを確認するために、さまざまなレシピを実行することもできます。これにより、手動による介入による潜在的なエラーが排除されます。ウェハハンドラは、安全性とメンテナンスを念頭に設計されています。センサーとインターロックを備えており、ツールの事故や誤動作から保護します。また、セルフモニタリングであるため、問題をほぼ即座に検出して対応することができます。全体として、BROOKS 144868ウェハンドラは、効率的で信頼性の高い資産であり、タイムリーに高品質の製品を生産するために使用することができます。高度なモデルコンポーネント、カスタマイズオプション、信頼性により、半導体製造および試験設備に最適です。