中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 141001-0031 JET #9201728 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 141001-0031 JETウェーハハンドラは、半導体業界で幅広く使用されている、加工中のウェーハを扱う高精度ロボット機器です。プロセスチャンバ間でウェーハを転送したり、アライメントやスタッキングなどの複雑な操作を行うことができます。JETシステムは、オーバーヘッドレールユニットに搭載されたロボットアームです。腕は正確に制御され、3方向（X、 Y、およびZ軸）で動くようにプログラムすることができ、最大3度の自由度を提供します。これにより、エンドエフェクタの非常に正確な位置決めが可能になり、ウェーハをピックアップしてチャンバからプロセスに転送するなどの作業が可能になります。エンドエフェクタ自体は、ウェーハアライメントやスタッキングなどの複雑な操作を実行するようにプログラムすることもできます。JETマシンには、精度と信頼性を確保するためのいくつかの高度な技術が装備されています。例えば、アームはウェット摩擦制御と多軸トラッキングを利用して、エンドエフェクタが正確に移動し、プロセスチャンバーをリニアな方法で追跡できるように連携します。さらに、このツールは校正アセットを内蔵して設計されており、精度と再現性を保証します。JETモデルは、エンドエフェクターと取り扱うウェハの両方を保護するさまざまな安全機能も備えています。例えば、ウェーハパススルー回避システムが装備されており、ミスアライメントや衝突を検出して回避することができます。また、ウェーハ表面損傷検知機を搭載しており、ミッシャンドリングにより発生した傷、チップなどの表面損傷を検知することができます。全体として、BROOKS 141001-0031 JETは、半導体業界で多くの利点を提供する洗練されたロボットツールです。プロセスサイクル中にウェーハを処理しながら、精度、再現性、信頼性を確保するためのさまざまな先進技術と安全機能を備えています。